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借助 FIB-SEM 技術探索三維納米世界

AURIGA Compact 聚焦離子束掃描電鏡讓您進入三維納米斷層成像世界。它將高分辨率成像與聚焦離子束的刻蝕性能結合在一起。您能夠獲得各類樣品的最大的材料對比度以及形貌對比度，甚至可以在 1 kV的加速電壓下達到 2.5 nm 的高分辨率。將 in-lens SE 和 BSE 探測器與局部電荷中和器組合，拓展在納米成像、三維分析、樣品制備及納米加工領域的應用范圍。

• 低加速電壓 – 高分辨率
  制備非導電和電子束敏感型樣品：使用低加速電壓可減少充電與收縮效應。輕松獲得出色的高分辨率樣品橫截面信息。
• in-lens SE 探測器 與 BSE 探測器相結合
  發(fā)揮 AURIGA Compact 的最大分析性能：除高分辨率成像外，這兩種探測器的組合還能提供清晰的成份和形貌對比度。
• 局部電荷中和器
  消除絕緣材料的充電效應：將氣體注入感興趣的區(qū)域內去除帶電粒子。