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集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡，可以實現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工

快速、精準的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實現(xiàn)無縫切換：

• 氖離子束可以快速高效地進行納米結(jié)構(gòu)加工。
  
• 氦離子束可以加工亞 10nm 級精度的結(jié)構(gòu)。
  
• 備選的鎵聚焦離子束能夠進行大塊樣品材料的刻蝕。

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身，是世界上唯一能實現(xiàn)從微米到納米微加工的成像加工系統(tǒng)

• 快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工
  使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料，在亞 10nm 加工應用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。
  
  
• 集三種離子束顯微技術(shù)于一體
  使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準的氖離子束快速完成微加工，利用氦離子束加工精細的亞 10 納米級結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。
  
  
• 高分辨率成像
  借助 0.5 納米成像分辨率，它可在同一臺加工儀器中實現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）成像相比，其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細節(jié)。