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AURIGA FIB-SEM聚焦離子束掃描電子顯微鏡
    發(fā)布時間: 2010-03-05 14:06    
AURIGA FIB-SEM 系統(tǒng)將 GEMINI 電子束（e-Beam）鏡筒的三維成像和分析性能與用于納米級材料加工和樣品制備的聚焦離子束結(jié)合在一起。其包含具有不同樣品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 兩種型號可供選擇，為工業(yè)質(zhì)量控制和材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用提供極大的靈活性。
AURIGA FIB-SEM聚焦離子束掃描電子顯微鏡

您對樣品的研究是否已不限于其表面成像？您是否希望了解樣品的化學(xué)組份或形貌信息？您是否非常想了解更深層次的三維結(jié)構(gòu)特征？或者計劃對樣品進行調(diào)整或加工？

AURIGA FIB-SEM 系統(tǒng)將 GEMINI 電子束（e-Beam）鏡筒的三維成像和分析性能與用于納米級材料加工和樣品制備的聚焦離子束結(jié)合在一起。其包含具有不同樣品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 兩種型號可供選擇，為工業(yè)質(zhì)量控制和材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用提供極大的靈活性。

獨特的成像能力

  • 在有局部電荷中和器的情況下，可以使用所有標(biāo)準(zhǔn)探測器進行非導(dǎo)電樣品成像
  • 包含 EsB 技術(shù)的獨特探測器設(shè)計，能夠同時檢測形貌和組份信息
  • 使用 GEMINI 鏡筒研究磁性樣品

 

先進的分析能力

  • 使用局部中和器進行非導(dǎo)電樣品分析
  • 擁有 15 或 23 個附屬端口的多功能樣品室
  • 樣品室的優(yōu)化幾何設(shè)計，可同時安裝 EDS、EBSD、STEM、WDS 和 SIMS 等設(shè)備

 

精準(zhǔn)的處理能力

  • 創(chuàng)新的 FIB 技術(shù)，具有最高級別的分辨率（< 2.5 nm）
  • 在 FE-SEM 下以高分辨率實時監(jiān)控整個樣品的制備過程
  • 先進的氣體處理技術(shù)，用于離子束與電子束的輔助刻蝕和沉積

 

未來的可擴展性

  • 可提供具有不同樣品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 兩種型號
  • 基于 GEMINI FE-SEM 技術(shù)的可擴展平臺理念
  • 模塊化設(shè)計結(jié)構(gòu)可用于功能擴展

高分辨率信息

AURIGA FIB-SEM 工作站的顯微機械加工和結(jié)構(gòu)化處理能力使其應(yīng)用范疇不僅只限于標(biāo)準(zhǔn)樣品制備。

其對聚焦離子束靈活精準(zhǔn)的控制（可與工藝氣體配合使用），在科學(xué)和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域的應(yīng)用中也起著重要的作用。對于高效率的應(yīng)用，可靠性與易用性是決定離子束控制加工品質(zhì)的主要因素。

納米圖形引擎軟件可以通過高度靈活且直觀的用戶界面來滿足這類應(yīng)用需求，從而實現(xiàn)最復(fù)雜的 16 位高精度結(jié)構(gòu)處理。


擴展 AURIGA FIB-SEM 系統(tǒng)應(yīng)用范圍：ATLAS 3D 是專為 FIB 納米表面形貌設(shè)計的一款軟、硬件包。它能夠以高達 32 k x 32 k 像素分辨率創(chuàng)建三維數(shù)據(jù)圖像。在三維模式下以納米級分辨率對成千上萬的立方微米結(jié)構(gòu)進行分析。
智能軟件算法減少了數(shù)據(jù)量和采集時間。其具有漂移校正、自動消像散、自動對焦和用于快速獲取可靠結(jié)果的自調(diào)動態(tài)三維追蹤功能。

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