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在更短時間內(nèi)收集更豐富的信息

• 加快納米斷層成像和納米加工的速度：將低電壓 SEM 性能與高達 100 nA 的 FIB 束流相結(jié)合。
• 獲取最豐富的信息：運用多探測器采集及同步刻蝕與成像能力。
• 使用 GEMINI 技術(shù)和可選配的 ATLAS 3D 軟件包檢測高達 50 k x 40 k 像素的大視野范圍。 
  

全方位流程控制

• 在對環(huán)境條件要求苛刻的長時間實驗中具備最高穩(wěn)定性，并能夠提供均勻一致的光束剖面。
• 采集時可以完成系統(tǒng)參數(shù)的實時更改，如探針電流或加速電壓，而無需對圖像進行調(diào)整。
• 圖形用戶界面操作直觀簡便。
  

具有最高靈活度

• 通過選用大量的探測器和附件實現(xiàn)系統(tǒng)快速升級。
• 針對不同的原位實驗來定制您的系統(tǒng)。
• 開放應(yīng)用程序接口（API）能讓用戶訪問每個顯微鏡參數(shù)。