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能以高倍率、高對(duì)比度進(jìn)行深紫外線（DUV）觀察的型號(hào)采用了適合深紫外線248 nm的光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了分辨率高達(dá)0.08 μm的高對(duì)比度成像?？梢愿鶕?jù)樣品的大小分別選擇MX61L/MX61/MX51。
高分辨率： 色差校正的光學(xué)系統(tǒng)，能觀察到明亮的、高對(duì)比度的深紫外線影像 采用了適合深紫外線248 nm的光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了可見光線2倍以上的分辨率。即使是深紫外線領(lǐng)域，也能進(jìn)行248±4 nm的寬范圍波長(zhǎng)色差校正。能有效利用照明光源，獲得鮮明的深紫外線觀察影像，適用于觀察低反射率的銅接線等標(biāo)本。也可以在檢查更微細(xì)的半導(dǎo)體圖紋面和磁頭滑動(dòng)面的縫隙時(shí)，檢查電極時(shí)，以及在縮微平版印刷技術(shù)中使用這個(gè)顯微鏡系統(tǒng)。
不使用粘合的全新DUV物鏡：DUV物鏡采用了本公司獨(dú)有的“無粘合透鏡”設(shè)計(jì)制造技術(shù)。新開發(fā)的DUV物鏡不使用粘合材料，高精度地組裝了18組18片的透鏡。即使是長(zhǎng)時(shí)間的深紫外線照射，DUV物鏡也能維持優(yōu)異的性能。
分離深紫外線燈箱，提高系統(tǒng)設(shè)計(jì)自由度把作為熱源的燈箱從深紫外線鏡筒分離，使之成為獨(dú)立的光源單元。使用UV光引導(dǎo)把照明光線從光源單元導(dǎo)向鏡筒，這樣一來，在設(shè)置顯微鏡時(shí)其布局就容易了許多。此外，光源單元前面的操作旋鈕，可以無級(jí)調(diào)光，能調(diào)節(jié)出適合樣品的最佳亮度。石英纖維的使用實(shí)現(xiàn)了均一的DUV光照明。
電腦控制數(shù)碼照相機(jī)：高精度UV數(shù)碼照相機(jī)采用了能高速讀取數(shù)據(jù)的IEEE1394格式。使用影像分析軟件analySIS FIVE（選件），可以用電腦控制照相機(jī)。還可以在電腦上對(duì)讀取的影像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理、計(jì)算測(cè)量和分析，甚至創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫(kù)和報(bào)告。
高經(jīng)濟(jì)性： 小型緊湊、低成本DUV鏡筒構(gòu)造簡(jiǎn)單，沒有操作部分。照明部分可以拆卸，與傳統(tǒng)的專用設(shè)備相比，重量減少了約1/2，實(shí)現(xiàn)了小型、輕便化。此外，成本也約壓縮為原來的一半。
采用超長(zhǎng)壽命的水銀氙燈在深紫外線照明上采用了照明時(shí)間平均為1000小時(shí)的超長(zhǎng)壽命水銀氙燈。減少了照明燈的更換，降低了運(yùn)行成本。
將深紫外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成深紫外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對(duì)應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請(qǐng)參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
深紫外線觀察裝置
U-UVF規(guī)格
UV248鏡筒
U-UVF248IM
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DUV光學(xué)系統(tǒng)
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使用波長(zhǎng)
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248±4 nm
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光源
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80 W水銀氙燈
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物鏡
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專用DUV100×物鏡／
N.A. 0.9 WD 0.2 mm
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中間倍率
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2.5×
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視場(chǎng)數(shù)
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12.5（實(shí)際視場(chǎng)50 μm）
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適用溫度環(huán)境
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23±5℃
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可見光線光學(xué)系統(tǒng)
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物鏡
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UIS物鏡
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中間倍率
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1×
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視場(chǎng)數(shù)
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22（照相機(jī)觀察為20）
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UV428光源盒
U-UVF248LB
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亮度調(diào)節(jié)
快門
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0到100%手動(dòng)無級(jí)調(diào)節(jié)
上下滑動(dòng)式切換撥桿
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UV光導(dǎo)U-UVF2FB/5FB
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長(zhǎng)度2 m或5 m
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水銀氙燈盒U-LH80HGXE
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使用80 W水銀氙燈
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電源裝置
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USHIO制造（100 V～120 V）
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對(duì)應(yīng)顯微鏡一覽
MX61A：可以綜合控制外圍設(shè)備、對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX61L：可以對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX61：可以對(duì)應(yīng)200 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX51：可以對(duì)應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號(hào)
將深紫外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成深紫外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對(duì)應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請(qǐng)參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
深紫外線觀察裝置
U-UVF規(guī)格
UV248鏡筒
U-UVF248IM
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DUV光學(xué)系統(tǒng)
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使用波長(zhǎng)
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248±4 nm
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光源
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80 W水銀氙燈
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物鏡
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專用DUV100×物鏡／
N.A. 0.9 WD 0.2 mm
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中間倍率
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2.5×
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視場(chǎng)數(shù)
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12.5（實(shí)際視場(chǎng)50 μm）
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適用溫度環(huán)境
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23±5℃
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可見光線光學(xué)系統(tǒng)
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物鏡
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UIS物鏡
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中間倍率
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1×
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視場(chǎng)數(shù)
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22（照相機(jī)觀察為20）
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UV428光源盒
U-UVF248LB
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亮度調(diào)節(jié)
快門
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0到100%手動(dòng)無級(jí)調(diào)節(jié)
上下滑動(dòng)式切換撥桿
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UV光導(dǎo)U-UVF2FB/5FB
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長(zhǎng)度2 m或5 m
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水銀氙燈盒U-LH80HGXE
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使用80 W水銀氙燈
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電源裝置
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USHIO制造（100 V～120 V）
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對(duì)應(yīng)顯微鏡一覽
MX61A：可以綜合控制外圍設(shè)備、對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX61L：可以對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX61：可以對(duì)應(yīng)200 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)
MX51：可以對(duì)應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號(hào)
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產(chǎn) 品 說 明
