近紅外檢查系統(tǒng)顯微鏡 MX-IR/BX-IR
發(fā)布時間: 2010-03-28 10:36
產品編號:
4231115616
產品名稱:
近紅外檢查系統(tǒng)顯微鏡 MX-IR/BX-IR
規(guī) 格:
MX-IR/BX-IR
產品備注:
產地:日本
產 品 說 明
|
能觀察IC內部的近紅外線(IR)觀察專用型號(反射透射兼用)搭載了由可見光線領域到近紅外線領域校正了像差的IR專用物鏡,和數字增強系統(tǒng),能輕松地觀察IC內部??梢愿鶕颖敬笮『陀猛具x擇MX/BX系列產品。
隨著不斷發(fā)展的電子設備小型化、超薄化的需求,半導體器件的封裝技術也高速進化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package)、三維組裝、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領域進行無損檢查和分析。
倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,則可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內部。只要置于顯微鏡下,就可以輕松進行不良狀況分析。對必需用FIB(Focuszed Ion Beam)處理位置的指定也有效。
晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗導致芯片損壞:晶圓級CSP的高溫高濕試驗導致器件的變化,可以用非接觸方式檢查。此外,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。
MX系列產品(半導體檢查型號)可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品。只對應反射照明觀察。
Power BX系列產品(標準型號)對應反射光觀察和透射光觀察。
BXFM(嵌入式設備型號)能嵌入設備的小型設計。
對應顯微鏡一覽:將專用物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上,就可以組成紅外線觀察顯微鏡。有關對應的顯微鏡規(guī)格,請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
MX61A:可以綜合控制外圍設備、對應300 mm晶圓的電動型號
MX61L:可以對應300 mm晶圓的電動型號
MX61:可以對應200 mm晶圓的電動型號
MX51:可以對應150 mm晶圓的手動型號
BX51M:從明視場到熒光,對應大范圍觀察的通用型號
紅外線反射透射觀察
BX61:操作省力的電動控制型號
BX51:從明視場到熒光,對應大范圍觀察的通用型號
|
|