自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12
發(fā)布時(shí)間: 2010-03-28 10:32
產(chǎn)品編號(hào)：
42313591416
產(chǎn)品名稱(chēng)：
自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12
規(guī) 格：
AL120-12
產(chǎn)品備注：
產(chǎn)地：日本
 產(chǎn) 品 說(shuō) 明
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提高300 mm晶圓原料利用率和生產(chǎn)率的手動(dòng)搬運(yùn)裝置推出了對(duì)應(yīng)FOUP開(kāi)口（裝載口）和FOSB規(guī)格2種產(chǎn)品型號(hào)。實(shí)現(xiàn)了不受晶圓條件（簿晶圓、變形晶圓）影響的搬運(yùn)系統(tǒng)，為后道工程的品質(zhì)保證提供了極高的可靠性和安全性。
卓越的光學(xué)性能、系統(tǒng)性能、操作性能
操作簡(jiǎn)便配有可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性能。格外重視了設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。推出了對(duì)應(yīng)FOUP開(kāi)口（裝載口）和FOSB規(guī)格的2種產(chǎn)品型號(hào)。
繼承了高度的可靠性和操作性
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繼承了上一代型號(hào)的可靠性和安全性，能夠安全的自動(dòng)檢查300 mm晶圓。
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實(shí)現(xiàn)了不受晶圓條件（簿晶圓，變形晶圓）影響的搬運(yùn)系統(tǒng)。
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宏觀觀察位置的最佳化和操作部的集中配置，提高了設(shè)備的可視性和操作性。
專(zhuān)用宏觀照明裝置
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可以選擇最佳的照明方法檢查異物、傷痕、膜斑、散焦等。
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高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射
自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
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AL120-LMB12-LP
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AL120-LMB12-F
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晶圓尺寸
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300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
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卡盒
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●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開(kāi)門(mén)標(biāo)準(zhǔn)夾●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品●FIMS-FOSB, FOSB
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●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開(kāi)門(mén)搬運(yùn)盒●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
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卡盒數(shù)
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單盒（裝載、卸載兼用）
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卡盒設(shè)置高度
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900 mm
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裝載端口
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有
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無(wú)
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搬運(yùn)順序
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表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
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檢查模式
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全部檢查、抽樣檢查
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晶圓校準(zhǔn)
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非接觸式中心環(huán)
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晶圓搬運(yùn)方式
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真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
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適用顯微鏡
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半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
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應(yīng)用環(huán)境
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AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
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載物臺(tái)
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XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
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重量（不包括顯微鏡）
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約360 kg
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約270 kg
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