晶圓搬送機 AL120
發(fā)布時間: 2010-03-28 10:30
產品編號：
4231455516
產品名稱：
晶圓搬送機 AL120
規(guī) 格：
AL120
產品備注：
產地：日本
 產 品 說 明
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對應直徑200 mm及以下的晶圓，為提高產能和優(yōu)化良率做出貢獻的晶圓搬送機.可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。
大范圍適用和高度的可靠性
可以根據晶圓尺寸、檢查內容選擇最適用的一款我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查內容，選用微觀檢查專用型號“L型”或微觀?宏觀檢查兼用型號“LMB型”。
進一步優(yōu)化的宏觀檢查
在背面宏觀檢查上，使用最大360°的傾斜角能夠比較容易的發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。利用360°旋轉功能，完全可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓最大傾斜30°進行觀察。
對應了SEMI S2/S8和RoHS的高度可靠性
為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面設置片盒的設計。在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
晶圓搬送機 AL120 規(guī)格
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200 mm專用型
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200 mm/150 mm 兼用型
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150 mm型
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AL120-
LMB8-90
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AL120-
LMB86-180
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AL120-
L86-180
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AL120-
LMB86
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AL120-
L86
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AL120-
LMB6-150
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AL120-
L6-150
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晶圓尺寸（SEMI規(guī)格）
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200mm
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200mm / 150mm
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150mm / 125mm / 100mm
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晶圓最小厚度
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90μm
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180μm
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400μm
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150μm
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片盒類型*
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SEMI規(guī)格：25（26）個slot
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片盒數(shù)
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1
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檢查模式
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全部檢查／抽樣檢查
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搬運順序
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微觀檢查（顯微鏡檢查）
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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表面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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背面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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二次背面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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晶圓定位（每 90o）
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非接觸（定位平邊／V型槽）
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非接觸（定位平邊）
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適配顯微鏡型號
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奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
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尺寸（mm）
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主機部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)
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主機部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
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重量（kg）（僅主機部分）
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44
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44
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41
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44
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41
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40
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37
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使用環(huán)境（電源／真空）
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AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上
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* 最多可登記10種片盒。
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