德國(guó)馬爾MarSurf WM 100 高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x
高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x MarSurf WM 100 有亞納米級(jí)分辨率和測(cè)量精度。3D 白光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)。
德國(guó)馬爾MarSurf WM 100 高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x,特性
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亞納米分辨率和測(cè)量精確度下有最高精度
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適合所有光學(xué)和反射表面、精細(xì)技術(shù)表面和電路板、半導(dǎo)體產(chǎn)品和生物組織表面
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2D 表面分析和測(cè)量評(píng)估
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地形學(xué) 3D 表面分析和測(cè)量評(píng)估
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快速測(cè)量 #96 短測(cè)量時(shí)間
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在最多 4 個(gè)軸上手動(dòng)定位工作臺(tái)和物體
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多種鏡頭選擇,可根據(jù)測(cè)量對(duì)象進(jìn)行完美調(diào)整
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采用花崗石底座的穩(wěn)固型設(shè)計(jì)
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基于 MountainsMap? 的專(zhuān)業(yè)評(píng)估軟件
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機(jī)器建造:所有類(lèi)型純金屬表面(打磨,軋制等),以及激光結(jié)構(gòu)表面、細(xì)陶瓷和塑料表面、鑄模表面
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醫(yī)療:植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面
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電子:涂層表面分析,電子和半導(dǎo)體組件的測(cè)量和分析
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光學(xué):各種光學(xué)組件(所有材料)的粗糙度分析
德國(guó)馬爾MarSurf WM 100 高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x,附件
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傳感器系統(tǒng),包含:
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WLI 傳感頭
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相機(jī),768 x 582 像素,最高 48 圖像/秒
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100 μm Z 軸,帶壓電驅(qū)動(dòng)
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WLI 軟件模塊,"Inspector" 軟件
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花崗石底座和立柱,配有手動(dòng)定位傳感器系統(tǒng)
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手動(dòng) XY 載物臺(tái)用于測(cè)頭定位
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20x0.4 DI 鏡頭(白光干涉儀)
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CT 120 雙軸傾斜工作臺(tái)
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設(shè)置工作臺(tái)角 +/- 30°
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標(biāo)準(zhǔn)套件
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白光干涉儀:WLI 物鏡 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7
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可選:配備減震器來(lái)為納米和亞納米范圍測(cè)量?jī)?yōu)化減震
德國(guó)馬爾MarSurf WM 100 高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x,技術(shù)數(shù)據(jù)
測(cè)量原則
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使用干涉儀,白光干涉儀
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm
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測(cè)量范圍 mm
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傳感器裝置在 Z 方向可手動(dòng)移動(dòng) 200 mm
載物臺(tái)在 X 和 Y 方向可手動(dòng)移動(dòng)
干涉儀,白光干涉儀:
測(cè)量范圍(WLI):最高 100 μm(垂直)
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接口
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230 V, 50 Hz
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全國(guó)各地均有供應(yīng):北京、天津、上海、重慶、石家莊、唐山、秦皇島、太原、沈陽(yáng)、大連、丹東 、長(zhǎng)春、哈爾濱、南京、連云港、杭州、合肥、福州、廈門(mén)、南昌、 濟(jì)南、青島、邯鄲、洛陽(yáng)、日照、煙臺(tái)、 鄭州、武漢、襄陽(yáng)、十堰、長(zhǎng)沙、廣州、深圳 南寧、成都、貴陽(yáng)、昆明、拉薩、西安、蘭州、西寧、銀川、烏魯木齊、寧波、桂林、海南海口、溫州、大理、廣東、廣西、浙江、福建、江蘇、安徽、江西、湖北、湖南、云南、貴州、四川、青海、陜西、甘肅、寧夏、河南、河北、山東、山西、遼寧、吉林、黑龍江、內(nèi)蒙古、新疆、西藏等地。