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德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器
    發(fā)布時(shí)間: 2017-07-13 17:01    

德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器。

具有亞納米級分辨率。綜合性 3D 測量系統(tǒng),包含共焦顯微鏡和白光干涉儀


德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器

德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器,特性

  • 特殊顯微鏡技術(shù),專用于重現(xiàn)高達(dá)物理極限的細(xì)微表面特征
  • 在實(shí)時(shí)視頻技術(shù)中進(jìn)行表面掃描,提供快速而可靠的結(jié)果
  • 最高質(zhì)量物體的大型遴選
  • 元素和結(jié)構(gòu)的拓?fù)?、高度、形狀和位置的測量
  • 穩(wěn)定,免維護(hù),使用壽命長
  • 機(jī)器建造:所有類型純金屬表面(打磨,軋制等),以及激光結(jié)構(gòu)表面、細(xì)陶瓷和塑料表面、鑄模表面
  • 醫(yī)療:植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面
  • 電子:涂層表面分析,電子和半導(dǎo)體組件的測量和分析
  • 光學(xué):各種光學(xué)組件(所有材料)的粗糙度分析

德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器,附件

  • 傳感器系統(tǒng),包含:
  • 共焦顯微鏡 KFM,帶 6x 物鏡轉(zhuǎn)換器
  • 相機(jī),768 x 582 像素,最高 48 圖像/秒
  • 100 mm CNC 控制 Z 軸,集成 Heidenhain 玻璃分劃尺
  • WLI 軟件模塊,"Inspector" 軟件
  • 花崗石底座和立柱帶傳感器系統(tǒng),CNC 控制載物臺(tái)
  • 機(jī)動(dòng)多軸控制 Z 軸和 XY 工作臺(tái)以定位測頭和像場合并
  • 50x0.8 EPI 鏡頭(共焦顯微鏡)
  • 20x0.4 DI 鏡頭(白光干涉儀)
  • CT 120 雙軸傾斜工作臺(tái)
  • 設(shè)置工作臺(tái)角 /- 30°
  • 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置
  • 共焦顯微鏡:KFM 物鏡 10x0.5;  20x0.75;  50x0.6,載物臺(tái)和工件之間有 11 mm 間隙;  50x0.8;  100x0.9
  • 白光干涉儀:WLI 物鏡 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7

德國馬爾MarSurf CWM 100光學(xué)測量儀器,技術(shù)數(shù)據(jù)

測量原則

使用干涉儀,白光干涉儀和共焦
光源(KFM 和 WLI):高功率 LED,505 nm

測量范圍 mm

傳感器裝置在 Z 方向可移動(dòng) 100 mm,CNC 控制
載物臺(tái)在 X 和 Y 方向可移動(dòng) 100 mm,CNC 控制
干涉儀,白光干涉儀:
測量范圍 (WLI):最高 4 mm(取決于鏡頭)
共集顯微鏡:
測量范圍 (KFM):最高 800 μm(取決于 Z 方向分辨率和鏡頭)

接口

230 V, 50 Hz


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