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OLS4100激光共焦顯微鏡
    發(fā)布時(shí)間: 2015-03-05 16:14    
LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過(guò)非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量。最高分辨率達(dá)10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時(shí)配備豐富的測(cè)量功能。
OLS4100激光共焦顯微鏡

卓越的測(cè)量

更大的樣品范圍

輕松檢測(cè)85° 尖銳角

Razor with an Acute Angle
有尖銳角的樣品（剃刀）
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能最大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。
LEXT-Dedicated Objective Lenses
LEXT 專用物鏡
Non-Exclusive Objective Lens
使用專用物鏡時(shí)的最小象差

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT)
(MPLAPON50XLEXT) 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè)
由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差異

Overcoming Reflectance Differences
鉆石電鍍工具 
物鏡：MPLAPON50XLEXT
OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

適用于透明層

多層模式 
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。 
Multi-Layer Mode

觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層 
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。 
Observation/Measurement of Multiple Layers of Transparent Material

工業(yè)領(lǐng)域首創(chuàng)* 的兩項(xiàng)性能保證

正確性和重復(fù)性

Accuracy and Repeatability
通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界首次同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

Traceability System
OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí)，由選拔出來(lái)的技術(shù)人員，在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和最后的調(diào)整。

更多的測(cè)量類型

高度測(cè)量

Step Measurement

可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 
輪廓測(cè)量也同樣可用

表面粗糙度測(cè)量

Surface Roughness Measurement

可以測(cè)量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。

 

 

面積／體積測(cè)量

Area/Volume Measurement

根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。

粒子測(cè)量 (選購(gòu)件)

Particle Measurement1

可以通過(guò)分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。

 

 

幾何測(cè)量

Geometric Measurement1

可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。

膜厚測(cè)量 (選購(gòu)件)

Film Thickness Measurement*

可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。

 

 

自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購(gòu)件)

Auto Edge Detection/ Measurement*

可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。

 
 

OLYMPUS Stream (選購(gòu)件)

工作流程解決方案，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能 
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

想了解更多OLYMPUS Stream相關(guān)內(nèi)容 >

更精準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量

LEXT OLS4100 參數(shù)

作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來(lái)說(shuō)，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離最長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。

截面曲線
Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲線
Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波動(dòng)曲線
Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
負(fù)荷曲線
Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本圖形
R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
粗糙度 (JIS1994)
Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他
R3z, P3z, PeakCount

適應(yīng)下一代參數(shù) 
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過(guò)評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。

振幅參數(shù)
Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能參數(shù)
Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
體積參數(shù)
Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
橫向參數(shù)
Sal, Str

? LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量?jī)x的結(jié)果相兼容。 
surface roughness gauge

微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無(wú)法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。 
Micro Roughness1
Micro Roughness2

非接觸式測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品 
的表面粗糙度。
Polymer Film 3D image
高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測(cè)量結(jié)果（左）
Results of Roughness Measurement

Soft Specimen
柔軟的樣品 
Adhesive Specimen
帶有粘性的樣品

微米級(jí)特征的測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其探針無(wú)法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域，所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

Bonding Wires
焊線
Measurement of Features at the Micron Level

高畫質(zhì)影像

清晰鮮明的3D 彩色影像

三種類型的綜合影像

Real-Color 3D Image
真彩3D 影像
LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。
Confocal 3D Laser Image
激光全焦點(diǎn)3D 影像
Height Information
高度信息影像

再現(xiàn)自然色

OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與高級(jí)的光學(xué)顯微鏡相媲美。

2D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
2D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）
3D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
3D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）

更加真實(shí)地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過(guò)安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來(lái)照射樣品。獲取由樣品直接反射回來(lái)的兩束光線的差，生成明暗對(duì)比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

Laser Image with No DIC (Polymer Film)
無(wú)DIC 的激光影像（高分子薄膜）
Laser Image with DIC (Polymer Film)
有DIC 的激光影像（高分子薄膜）
 
Laser Image with No DIC (5x Objective Lens)
無(wú)DIC 的激光影像（5x 物鏡） 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany
Laser Image with DIC (5x Objective Lens)
有DIC 的激光影像（5x 物鏡） 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度：6 nm
 

亮度和對(duì)比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動(dòng)態(tài)范圍）影像

OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。

Color Image without HDR (Super-Density Fabric, Objective Lens 20x, Zoom 1x)
無(wú)HDR 的彩色影像 
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）
Color Image with HDR (Super-Density Fabric, Objective Lens 20x, Zoom 1x)
有HDR 的彩色影像 
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）
Algorithm
算法

穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境

Hybrid Vibration-Dampening Mechanism
復(fù)合減震機(jī)構(gòu)
為了排除來(lái)自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量和成像，OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要專用的防震平臺(tái)。
?產(chǎn)品類別