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SIGMA 系列場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡
    發(fā)布時(shí)間: 2010-03-04 15:28    
SIGMA 系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）擁有先進(jìn)的顯微分析技術(shù)。該系列電鏡采用配有in-lens二次電子探測(cè)器的GEMINI 鏡筒，能夠提供出色的分辨率、襯度和亮度，適用于樣品形貌的清晰成像。高真空和可變壓力模式能夠?qū)?dǎo)電與非導(dǎo)電樣品進(jìn)行高清晰成像。
SIGMA 系列場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡
SIGMA 系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）擁有先進(jìn)的顯微分析技術(shù)。該系列電鏡采用配有in-lens二次電子探測(cè)器的GEMINI 鏡筒，能夠提供出色的分辨率、襯度和亮度，適用于樣品形貌的清晰成像。高真空和可變壓力模式能夠?qū)?dǎo)電與非導(dǎo)電樣品進(jìn)行高清晰成像。
  • 分析性能
    GEMINI 鏡筒的設(shè)計(jì)可提供超低電壓成像和穩(wěn)定性。SIGMA 能識(shí)別小至 1.5 nm 的微細(xì)結(jié)構(gòu)。而 SIGMA HD 則可進(jìn)一步提高分辨率至 1.0 nm。
  • 集成化工作流程
    SmartSEM 軟件具有圖像導(dǎo)航功能，借助數(shù)字概覽圖像完成樣品在樣品倉(cāng)內(nèi)的導(dǎo)航、定向和定位。使用 SmartBrowse 查看圖像及其相關(guān)分析數(shù)據(jù)。
  • 最高效率
    通過(guò)在 SIGMA HD 分析樣品室上安裝雙 EDS 探測(cè)器來(lái)提高效率。快速、精準(zhǔn)的 X 射線能譜儀。
SIGMA HD（場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡）不僅具有高真空和可變壓力模式，還可對(duì)電子器件、探測(cè)器及機(jī)械部件進(jìn)行升級(jí)，可達(dá)到 1nm 的成像分辨率。

高清晰成像

SIGMA HD 實(shí)現(xiàn)了分析型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的高清晰成像。新型的低電壓優(yōu)化背散射探測(cè)器 HD BSD，能夠在低加速電壓（750V 至 3kV）和低探針電流下對(duì)樣品成像。新型 HD BSD 還可在 30kV 電壓下成像，堪稱業(yè)界一流。

高分辨率下快速元素分析

SIGMA HD 將大幅圖像幀存儲(chǔ)與高速電子束掃描相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)在高分辨率大視野下（12K x 9K）的快速元素（50ns/像素）定量分析。樣品室還能夠同時(shí)連接兩個(gè)相對(duì)的 EDS 探測(cè)器，均可實(shí)現(xiàn)最大固定角度探測(cè)。針對(duì)電子束敏感樣品，雙 EDS 設(shè)置能在使用高 X 射線計(jì)數(shù)率的情況下同時(shí)保持低探針電流。


3View 技術(shù)使蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡成為一套快速高分辨率三維成像系統(tǒng)

SIGMA 結(jié)合了 Gatan 公司的 3View 技術(shù)，從包埋的細(xì)胞和組織樣品中獲取高分辨率三維信息。在最短時(shí)間內(nèi)完成操作。

3View 是掃描電鏡樣品室內(nèi)的一臺(tái)超微切片機(jī)。它能夠連續(xù)對(duì)樣品進(jìn)行切割與成像。您可以在一天生成數(shù)以千計(jì)的序列圖像 – 由于它們均源自一個(gè)固定模塊，所以彼此之間精準(zhǔn)對(duì)齊。

蔡司全套解決方案

使用配有可變壓力的 SIGMA 3View 實(shí)現(xiàn)最佳程度的電荷中和。在無(wú)任何用戶干預(yù)下，系統(tǒng)可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。

大視野

蔡司 GEMINI 技術(shù)能以納米級(jí)的分辨率在一次掃描過(guò)程中獲取像素大小為 32k x 24k 的圖像。您甚至還可以進(jìn)行大視野成像，圖像邊緣絕不失真。而且您在大多數(shù)應(yīng)用中無(wú)需拼接圖像。

最高掃描速度

根據(jù)應(yīng)用不同，您還能夠使用 3View 技術(shù)以 10 倍快的速度獲取三維圖像。利用 SIGMA 獨(dú)一無(wú)二的高束流模式快速成像。


采集圖像分辨率高達(dá) 32 k x 32 k 像素，駐留時(shí)間從 100 ns 到 100 s 以上（以 100 ns 遞增可調(diào)）。同時(shí)可以 8 位或 16 位保存圖像。使用 ATLAS 拼接工具可建立大幅圖像拼接。


?產(chǎn)品類別