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JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計的,該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高(低)真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng),可以通過滑動爐體來實現(xiàn)快速升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到所需的真空度,同時通過四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
設(shè)備介紹:
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計的,該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高(低)真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng),可以通過滑動爐體來實現(xiàn)快速升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到所需的真空度,同時通過四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。
爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),殼體間配有風冷系統(tǒng),能有效的降低爐殼表面溫度。爐底以直線軌道為平臺,通過軌道實現(xiàn)爐體自由滑動;反應(yīng)區(qū)采用石英管結(jié)構(gòu),石英管直徑60mm,石英管通過CVD專用法蘭密封,內(nèi)置基片做為基底,前驅(qū)反應(yīng)氣體通過石英管內(nèi)發(fā)生CVD反應(yīng),生成石墨烯。
設(shè)備用途:
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是生長石墨烯研制的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
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基本參數(shù) |
產(chǎn)品型號 |
JKNL-B220 |
加熱區(qū)尺寸 |
400mm |
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極限溫度 |
1200℃ |
工作溫度 |
≤1100℃ |
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表面溫度 |
< 60℃ |
控溫精度 |
±1℃ |
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最大功率 |
3KW |
工作電壓 |
單相220V |
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開門方式 |
上開式 |
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外形尺寸 |
深 * 寬 * 高 (mm) 600 * 1300 * 1300 |
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設(shè)備重量 |
150Kg |
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殼體結(jié)構(gòu) |
雙層,殼體間風扇制冷,可使爐體表面快速降溫。 |
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節(jié)能效果 |
★ 保溫時僅需40%功率 |
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數(shù)據(jù)顯示模式 |
LED數(shù)顯儀表
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★ 可選配豪華型智能觸摸屏儀表,實時曲線顯示,也可用U盤導出數(shù)據(jù),在電腦上安裝查看軟件 |
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控制模式 |
智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能 |
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溫度曲線 |
30段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序 |
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測溫元件 |
K型熱電偶 |
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加熱元件 |
優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲 環(huán)形加熱,溫場均勻,能耗低 升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min |
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爐膛保溫材料 |
1500型高純氧化鋁微晶體纖維,保溫性能好 |
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售后服務(wù) |
12個月質(zhì)保(相關(guān)易耗件除外),終身保修 |
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包裝方式 |
三合板木質(zhì)包裝箱 |
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電 源 線 |
標配2米 若需更長,請購買設(shè)備時提前說明,需另購 |
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坩 堝 |
我司有各種規(guī)格的坩堝,需要可咨詢業(yè)務(wù)人員 |
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爐體尺寸 |
620mm(長)*420mm(寬)*520mm(高) |
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設(shè)備重量 |
180Kg |
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控制方式擴展 |
★ 可選配485轉(zhuǎn)換接口,實現(xiàn)與計算機相互連接。選配專用的電腦控制系統(tǒng)來完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。為客戶提供方便,本公司也可以代購電腦。 |
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真空度 |
A.若使用VP系列單級旋片機械泵+CF法蘭+針型閥,則真空度可達100Pa
B.若使用2XZ系列雙級旋轉(zhuǎn)機械泵+KF法蘭+真空球閥,則真空度可達10Pa |
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隨機配件 |
防護手套1雙;坩堝鉗1把;剛玉舟1只;石英管;爐塞;爐勾;6號內(nèi)六角(法蘭專用);法蘭一套;配套氣管;高溫密封圈8個;產(chǎn)品說明書1份;儀表說明書1份;保修證書1份。 |
質(zhì)量流量控制器
工作電壓:220V
最大輸出功率:18W
質(zhì)量流量計量程:
控制器1:0-100 SCCM
控制器2:1-199 SCCM
控制器3:1-199 SCCM
控制器4:1-499 SCCM
可任意選擇量程(5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM)
工作溫度:5-45 oC
最大壓力:3* 10^6 Pa
準確度:±1%FS
機械壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥:304不銹鋼
混氣罐:Φ80*120MM
截止閥:Φ1/4 304不銹鋼