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JKNL-B220滑軌式真空管式爐
    發(fā)布時間: 2015-09-03 08:37    

JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計的,該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高(低)真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng),可以通過滑動爐體來實現(xiàn)快速升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到所需的真空度,同時通過四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。

JKNL-B220滑軌式真空管式爐

JKNL-B220滑軌式真空管式爐

 

設(shè)備介紹:

JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計的,該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高(低)真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng),可以通過滑動爐體來實現(xiàn)快速升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到所需的真空度,同時通過四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。

爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),殼體間配有風冷系統(tǒng),能有效的降低爐殼表面溫度。爐底以直線軌道為平臺,通過軌道實現(xiàn)爐體自由滑動;反應(yīng)區(qū)采用石英管結(jié)構(gòu),石英管直徑60mm,石英管通過CVD專用法蘭密封,內(nèi)置基片做為基底,前驅(qū)反應(yīng)氣體通過石英管內(nèi)發(fā)生CVD反應(yīng),生成石墨烯。

設(shè)備用途:

    JKNL-B220滑軌式真空管式爐是生長石墨烯研制的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

 

           JKNL-B220滑軌式真空管式爐



(圖片僅供參考,請以實物為準
 

基本參數(shù)

產(chǎn)品型號

JKNL-B220

加熱區(qū)尺寸

400mm

極限溫度

1200℃

工作溫度

≤1100℃

表面溫度

60℃

控溫精度

±1℃

最大功率

3KW

工作電壓

單相220V

開門方式

 上開式

外形尺寸

* * 高 (mm)    600 * 1300 * 1300

設(shè)備重量

150Kg

殼體結(jié)構(gòu)

雙層,殼體間風扇制冷,可使爐體表面快速降溫。

節(jié)能效果

 保溫時僅需40%功率

數(shù)據(jù)顯示模式

LED數(shù)顯儀表

 

★ 可選配豪華型智能觸摸屏儀表,實時曲線顯示,也可用U盤導出數(shù)據(jù),在電腦上安裝查看軟件

 

 

控制模式

智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能

溫度曲線

30段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序

測溫元件

 K型熱電偶

加熱元件

 優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲

環(huán)形加熱,溫場均勻,能耗低

升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min

 

爐膛保溫材料

1500型高純氧化鋁微晶體纖維,保溫性能好

售后服務(wù)

12個月質(zhì)保(相關(guān)易耗件除外),終身保修

包裝方式

三合板木質(zhì)包裝箱

電 源 線

標配2米

若需更長,請購買設(shè)備時提前說明,需另購

 

坩    堝

我司有各種規(guī)格的坩堝,需要可咨詢業(yè)務(wù)人員

爐體尺寸

620mm(長)*420mm(寬)*520mm(高)

設(shè)備重量

180Kg

控制方式擴展

可選配485轉(zhuǎn)換接口,實現(xiàn)與計算機相互連接。選配專用的電腦控制系統(tǒng)來完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。為客戶提供方便,本公司也可以代購電腦。

 

真空度

A.若使用VP系列單級旋片機械泵+CF法蘭+針型閥,則真空度可達100Pa

B.若使用2XZ系列雙級旋轉(zhuǎn)機械泵+KF法蘭+真空球閥,則真空度可達10Pa
C.若使用國產(chǎn)或進口分子泵+KF法蘭+真空擋板閥,則真空度可達10-3Pa

隨機配件

防護手套1雙;坩堝鉗1把;剛玉舟1只;石英管;爐塞;爐勾;6號內(nèi)六角(法蘭專用);法蘭一套;配套氣管;高溫密封圈8個;產(chǎn)品說明書1份;儀表說明書1份;保修證書1份。

      質(zhì)量流量控制器

工作電壓:220V

最大輸出功率:18W

質(zhì)量流量計量程:

   控制器1:0-100 SCCM

   控制器2:1-199 SCCM

  控制器3:1-199 SCCM

   控制器4:1-499 SCCM

       可任意選擇量程(5、1020、3050、100200、300、500SCCM

    工作溫度:5-45 oC

    最大壓力:3* 10^6 Pa

    準確度:±1%FS

機械壓力表測量范圍-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)

針型閥304不銹鋼

混氣罐Φ80*120MM

截止閥Φ1/4 304不銹鋼

窗體底端

 

 

?產(chǎn)品類別