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測(cè)量范圍

X方向

100mm

100mm

120mm

150mm

Z1（傳感器）

25mm

40mm

50mm

60mm

高度

400mm

400mm

400mm

400mm

測(cè)量精度

X指示精度

（L=X軸移動(dòng)導(dǎo)軌距離）

±(0.8+0.002L)μm

±(0.6+0.002L)μm

±(0.7+0.002L)μm

Z1指示精度

（H=Z軸方向測(cè)量高度）

±(0.5+0.005H)μm

±(0.3+0.005H)μm

±(0.4+0.005H)μm

粗糙度

示值誤差

±5%

示值穩(wěn)定性

≤±7%

測(cè)量重復(fù)性

±3%

X軸

類型

光柵尺

光柵尺

光柵尺

光柵尺

分辨率

0.02μm

0.01μm

0.01μm

0.01μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

進(jìn)口

進(jìn)口

進(jìn)口

直線度

0.6um/100mm

0.4um/100mm

0.5um/100mm

0.5um/100mm

Z1軸

（傳感器）

類型

光柵傳感器

分辨率

0.02μm

0.01μm

0.01μm

0.01μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

評(píng)定長(zhǎng)度

λc×3、4、5、6、7

測(cè)量速度

輪廓儀

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

粗糙度

0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s

測(cè)針

輪廓儀粗糙度儀一體

針尖R5μm  60度

氣源流量/壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

電源

220-240V  AC, 50HZ，單獨(dú)地線；最大功率消耗450W

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)明顯振源