技術(shù)參數(shù)

(1) 類型： CCI 干涉（相干相關(guān)干涉） 
(2) 分辨率： 0.1 A 
(3) 測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 ) 
更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問題請垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人。 

主要特點

?專利的相干相關(guān)算法 
?0.01nm分辨率 
?10-20秒測量時間 
?RMS重復(fù)性：0.03A 

儀器介紹

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。 

分析方法