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研究級全電動系統(tǒng)金相顯微鏡 BX61

發(fā)布時間: 2010-03-28 10:47

產(chǎn)品編號：
42214343416
產(chǎn)品名稱：
研究級全電動系統(tǒng)金相顯微鏡 BX61
規(guī)　　格：
BX61
產(chǎn)品備注：
產(chǎn)地：日本

商品信息

產(chǎn) 品說明

電動控制調(diào)光、調(diào)焦和反射透射切換等，實現(xiàn)了操作省力化和效率化的檢查環(huán)境。使用圖像分析軟件（analySIS FIVE），可以將一系列的顯微鏡操作宏功能化，用電腦控制操作。

研究級全電動系統(tǒng)金相顯微鏡 BX61

觀察影像實例


磁頭（明視場觀察）	DVD（明視場觀察）

晶圓（熒光觀察）	彩色濾色片（透射觀察）

研究級全電動系統(tǒng)金相顯微鏡 BX61 規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)			UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正）
機身	觀察方法		明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		電動明暗視場反射照明裝置（明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光）電動反射熒光照明裝置（明視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光）
	照明系統(tǒng)	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
	照明系統(tǒng)	透射照明	100 W鹵素
	對焦單元	電動/手動	電動
		行程	35 mm
		分辨率/微調(diào)靈敏度	分辨率0.01 μm
		最大樣本高度	25 mm
	物鏡轉(zhuǎn)換器	電動型	明視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉5孔明暗視場微分干涉中心輸出5孔明暗視場微分干涉6孔
	物鏡轉(zhuǎn)換器	手動式	-
載物臺	行程		右下（左下）手柄：76（X）×52（Y）mm 4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm（透射照明范圍96×96 mm）
觀察筒	廣角視場（視場數(shù)22）	倒置	雙目/三目/傾斜雙目觀察筒
	廣角視場（視場數(shù)22）	正像	三目/傾斜雙目觀察筒
	超寬視場（視場數(shù)26.5）	倒置	三目觀察筒
	超寬視場（視場數(shù)26.5）	正像	三目/傾斜三目觀察筒
附件單元			自動調(diào)焦
外形尺寸			317.5（W）×602（D）×541（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量			25.5 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）

顯微鏡圖標(biāo)

	將光線均勻照射在樣品上，捕捉透射樣品或反射回來的光線的觀測方法。從樣品的光線透射率或反射率的不同中得出所觀測圖像的對比值，是最基本的觀測方法。
	將光線斜射于物體上，只捕捉樣品表面的散射光線的觀測方法。觀測圖像的背景變暗，從細微的傷痕或凹凸處反射出來的散射光線能更為清楚地看見。所以被稱為暗視場觀測。能高靈敏度的檢測出用明視場觀測無法檢測的，在晶圓、鏡片等近似于鏡面的樣品上存在的非常微小的傷痕及凹凸。
	利用光線的偏振光性和干擾性來觀測那些存在于樣品表面、在通常情況下無法看到的細微凹凸的觀測方法。用棱鏡將光線分離為橫向錯開的2束光線來照射樣品。從樣品上直接反射回來的2束光線的差生成明暗對比，這樣就能夠立體的觀測到樣品表面的細微凹凸。
	用水銀燈等高亮度光源照射品，觀測從樣品自身發(fā)出的熒光。由于從樣品發(fā)出的熒光非常微弱，所以僅用于搭載了特殊光學(xué)系統(tǒng)（能夠高靈敏度的檢測出高亮度光源和樣品發(fā)出的熒光）的顯微鏡。主要用于晶圓上灰塵的檢查，殘留抗蝕劑的檢查和探傷等。
	把樣品的偏振光性和雙折射性作為明暗及顏色的不同來觀測。所以在觀測光學(xué)系統(tǒng)上交叉配置了偏振光板。這樣就能夠得到與樣品的偏振光性相應(yīng)的顏色和對比。可以觀測金屬組織、礦物、液晶、半導(dǎo)體材料、磁盤等。
	能高靈敏度的檢測出，通過內(nèi)部結(jié)構(gòu)和結(jié)晶結(jié)構(gòu)來改變光線震動方向這一類物體的偏振光性。轉(zhuǎn)動偏振光板，結(jié)晶會出現(xiàn)色彩鮮明的變化，從而觀測它的偏振光性。另外，由于配備了觀測光學(xué)系統(tǒng)專用的測量板，不僅能觀測還能測定結(jié)晶構(gòu)造的偏振光方向和偏振光強度。
	這種觀測法的特點是在光源中加入波長較短的深紫外線，從而實現(xiàn)了可視光線無法達到的高分解功能。由于深紫外線無法通過目視觀測到，所以使用專門的CCD照相機來拍攝圖像，通過顯示器觀測。用于微型半導(dǎo)體模型、滑行讀寫磁頭的裂痕、縮微平版印刷術(shù)等。
	在光源中加入波長較長的近紅外線，透射單晶觀測其內(nèi)部的觀測法。用于Sip（System in Package即系統(tǒng)封裝）、3維封裝和CSP（Chip Size Package即芯片尺寸封裝）等半導(dǎo)體裝置，能夠無損檢查可視光線無法看到的內(nèi)部構(gòu)造。
	使用物鏡拍攝透射過透明樣品的光線。此時，樣品的各部分的不同的厚度、密度、顏色等形成光的吸收光譜，成為觀測的對比值。對比值較高的圖像明暗清晰，對比值較低的圖像明暗輕淺。
	在制造設(shè)備等上面搭載用來觀測、分析的光學(xué)系統(tǒng)裝置為目的開發(fā)出來的顯微鏡單元。小型、輕巧的設(shè)計，使加載更為簡便。
	為了不讓使用顯微鏡觀測時產(chǎn)生的靜電影響到樣品，顯微鏡的主機、集光管、物鏡轉(zhuǎn)換器等都使用導(dǎo)電性材料和涂料等處理過。靜電的快速消除，保護了容易受靜電影響的磁頭之類的樣品。
	通常體視顯微鏡的物鏡只有1個，但搭載物鏡轉(zhuǎn)換器的體視顯微鏡上，卻可以同時安裝并切換使用2個不同的物鏡。如此一來，與通常的產(chǎn)品相比，可以使用更大范圍的變焦倍率來進行觀測。
	由于在顯微鏡觀測上采用自動調(diào)焦，所以能在大幅度提高觀測和檢查速度的同時減輕操作員的負擔(dān)。不僅如此，還能有效杜絕高端測量中因操作員熟練程度不同而造成的測量值散亂，從而能夠進行高精度測量。
	可以測量大尺寸樣本或一次性測量多個普通樣本的測量顯微鏡的樣本載物臺。測量范圍為250×150 mm，能對應(yīng)快速測量。
	適用于測量半導(dǎo)體設(shè)備和電子零部件的測量顯微鏡的樣本載物臺?？梢愿鶕?jù)樣本尺寸選擇50×50 mm、100×50 mm、100×100 mm、150×100 mm等測量范圍的載物臺。
	是一種將顯微鏡的對焦、倍率切換、觀測方法切換、照明亮光的調(diào)整、電動載物臺控制、圖像獲取等功能全部電動化，并由PC控制的系統(tǒng)。既減輕了操作員的負擔(dān)，又提高了檢查效率。
	裝有可以全面觀測300 mm晶圓位移的大型載物臺的顯微鏡。如果加配透射照明還能夠適用于17英寸大的FPD檢查。
	在顯微鏡的前面和側(cè)面，可以安裝數(shù)碼照相機和電視攝像機的端口。如果配合三目鏡筒則可以同時安裝三臺圖像記錄設(shè)備。
	因為使用了波長比可視光短的405 nm紫色激光進行觀測，所以能夠得到比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。
	因為使用了波長比可視光短的408 nm紫色激光進行觀測，所以能夠得到比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。
	機身為小型設(shè)計，即使在狹窄的空間也能夠輕松安裝使用。另外，由于重量較輕，便于攜帶搬運，從而滿足了在復(fù)雜作業(yè)場地快速觀測的用戶需求。
	可以進行“線粗糙度測量”（對樣品表面進行直線測量）和“面粗糙度測量”（測量樣品表面整體）。進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，配置了表面特性粗糙度參數(shù)和過濾器，可以得到與傳統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀有互換性的數(shù)據(jù)。此外，靈活運用非接觸式的優(yōu)點，可以測量那些使用接觸式測量儀難以應(yīng)付的柔軟樣品和有粘性的樣品。