FS-70半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
發(fā)布時間: 2010-03-26 14:23
產(chǎn)品編號：
82213452616
產(chǎn)品名稱：
FS-70半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
規(guī) 格：
FS-70
產(chǎn)品備注：
日本三豐
 產(chǎn) 品 說 明
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380
FS-70
378 系列 — 半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
短基座型號 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
對焦 50mm 行程，同心焦距粗調(diào) (3.8mm/rev) 和微調(diào) (0.1mm/rev) 手輪 (左、右)
圖像 正像
瞳距 Siedentopf 型、調(diào)節(jié)范圍：51 - 76mm
視場數(shù) 24
俯角 — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°
透過率 50/50 100/0 或
0/100
50/50 100/0 或
0/100
100/0 或 0/100 100/0 或 0/100
保持性濾光片 — — 內(nèi)置激光射線濾光片 內(nèi)置激光射線濾光片
管鏡頭 1X 1X - 2X zoom 1X 1X
適用激光 — — 1064/532/355nm 532/355nm
相機(jī)端口 C-mount (使用適配器 B 選件) 使用帶有電視端口的
激光器
C-mount 插座
(帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))
照明系統(tǒng)、選件 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
12V 100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長度：1.5m、功耗 150W
物鏡、選件
(用于觀察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡、選件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
載重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg
重量 (主機(jī)) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg
* 光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
性能參數(shù)
型號 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
特點
? 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為暢銷的 FS60 型 (后升
級為 FS70 型) 而開發(fā)的。它作為測量檢測
半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
? FS70L 支 持 3 種 YAG 激 光 波 長 (1064nm,
532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 種波長(532nm,
266nm)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的
使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微
鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性，三豐公
司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射
器時應(yīng)仔細(xì)檢查。
? FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場，微分干涉
對比 (DIC) 和偏振觀測。FS70L 和 FS70L4 不
支持 DIC。
? 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡
的操作很簡單。
? 極易操作的設(shè)計：FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng)
(視場中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把
手加大微調(diào)手輪。
技術(shù)參數(shù)
對焦
? 方法 : 有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪 (左和右)
? 范圍 : 50mm 測量范圍
微調(diào) 0.1mm/rev 同心粗調(diào) 3.8mm/rev
三目鏡筒圖像 : 正像
瞳距 : Siedentopf 型
調(diào)節(jié)范圍 : 51 - 76mm
視場數(shù) : 24
俯角 : 0o - 20o (僅用于 -TH, -THS 型號)
照明系統(tǒng) : 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
光源 : 12V100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)),
光導(dǎo)長度 1.5m、功耗 150W
物鏡 (選件): M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
詳見 Microscope Units (E4191) 產(chǎn)品樣本
FS70Z FS70L FS70L4
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