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技術(shù)參數(shù)
觀察圖像 : 正像
光管 (選件): 單目目鏡或雙目目鏡
(俯角：25o)、十字投影法、
帶有 TV 插板、光通比
(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 (選件): 10X, 15X, 20X
物鏡 : 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可選：1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
輪廓照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞?(12V, 50W)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、 無級(jí)亮度調(diào)整
表面照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞?(12V, 100W 或 12V, 150W)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、 無級(jí)亮度調(diào)整
顯示裝置
? 軸數(shù) : 2 軸 (MF-A 型) 或 3 軸 (MF-B 型)
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 調(diào)零、方向轉(zhuǎn)換、
數(shù)據(jù)輸出 (通過 RS-232C 接口)
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
MF-B2017B
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍：
200 x 170mm
(帶有雙目鏡選件)
使用帶有 2 個(gè)目鏡安裝槽的
滑動(dòng)型目鏡轉(zhuǎn)換盤選件 (工
廠設(shè)置選件權(quán))
3X 目鏡分劃板
12AAG838 (12AAG878): 十字線 (7μm 寬)
12AAG836 (12AAG877): 十字線 (5μm 寬)
12AAG873 (12AAG876): 十字線 (3μm 寬)
12AAG839 (12AAG879): 十字線分劃板
12AAG840 (12AAG880): 十字線分劃板 和 60o 角
12AAG841 (12AAG881): 蔡氏型圖
12AAG842*: 20mm 讀數(shù)尺 (分度值 0.1mm)
12AAG843*: 同心圓 (?1.2 - ?18mm)
12AAG844*: 10mm 讀數(shù)尺 (分度值 0.1mm)
12AAG845*: 5mm 讀數(shù)尺 (分度值 0.05mm)
12AAG846*: 10x10mm 網(wǎng)格線 (最小 1mm)
12AAG847*: 公制螺紋 (P = 0.25-1.0)
12AAG848*: 公制螺紋 (P = 1.25-2.0)
12AAG849*: 漸開線齒輪 (14.5o), 模數(shù) = 0.1 - 1.0
12AAG850*: 漸開線齒輪 (20o), 模數(shù) = 0.1 - 1.0
12AAG851*: 統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)螺紋 (80 - 28TPI)
12AAG852*: 統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)螺紋 (24 - 14TPI)
12AAG853*: 統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)螺紋 (13 - 10TPI)
12AAG854*: 同心圓 (?.01" - ?.2")
( ): 適于 MF-U 型
*：兼容 MF/MF-U 提供分劃板插板
分劃板插板
(標(biāo)準(zhǔn)附件)
十字線和45? 角
(標(biāo)準(zhǔn)附件)
505B: 50 x 50mm 1010B: 100 x 100mm 2010B: 200 x 100mm
XY 工作臺(tái)選擇(行程范圍)
3017B: 300 x 170mm 4020B: 400 x 200mm
MF 測(cè)量顯微鏡具有可擴(kuò)展性，如與三豐
Vision Unit 一起使用可提高其性能，或者可
在 PC 中進(jìn)行數(shù)據(jù)管理， 從而確保提高效率。
特點(diǎn)
? 亮視場(chǎng)觀察、清晰的無閃爍的正像、以
及寬闊的視場(chǎng)范圍。
? 長(zhǎng)工作距離目鏡，倍率可達(dá)100X (總倍率：
2000X)。
? 透射照明孔徑光闌和反射照明系統(tǒng)為標(biāo)
準(zhǔn)性能配置。
? 快速釋放系統(tǒng)，特別適用于長(zhǎng)行程測(cè)量。
? 微調(diào)／粗調(diào)立柱兩側(cè)的加緊裝置，進(jìn)行
聚焦和測(cè)量。
? 調(diào)零開關(guān) (X 軸和 Y 軸) 也位于操作臺(tái)手柄
的附近。
? 可將 Vision Unit 升級(jí)為視像測(cè)量系統(tǒng)。
MF
176系列 — 測(cè)量顯微鏡
適于 MF-U 型
適于 MF 型367
性能參數(shù)
型號(hào) (XY 工作臺(tái)尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號(hào) MF-A 176-561* 176-562* 176-563* 176-564* 176-565* 176-566*
MF-B 176-581* 176-582* 176-583* 176-584* 176-585* 176-586*
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動(dòng)范圍 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調(diào)焦方式 手動(dòng)調(diào)焦 (粗調(diào)焦：10mm/rev、微調(diào)焦：0.1mm/rev)
測(cè)量方法 線性編碼器 (2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉(zhuǎn)換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測(cè)量精度 (20oC 時(shí)) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 為無負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 時(shí)) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)
浮動(dòng)功能 帶有快速斷開功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉(zhuǎn)功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
最大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號(hào)后加上以下后綴 (如：176-561A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國(guó)、K 適于 EK，無后綴適于 JIS/100V
選件
176-302: 10X 單目目鏡
176-303-1: 10X 雙目目鏡套裝
378-856: 10X 目鏡套裝 (視場(chǎng)范圍：24mm)
378-857: 15X 目鏡套裝 (視場(chǎng)范圍：16mm)
378-858: 20X 目鏡套裝 (視場(chǎng)范圍：12mm)
375-043: 量角目鏡 (10X)
176-313: 數(shù)顯量角目鏡 (10X)
375-036-2: 1X 物鏡 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.03)
375-037-1: 3X 物鏡 (W.D.: 77mm, N.A.: 0.09)
375-034-1: 5X 物鏡 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.13)
375-039: 10X 物鏡 (W.D.: 51mm, N.A.: 0.21)
375-051: 20X 物鏡 (W.D.: 20mm, N.A.: 0.42)
375-052: 50X 物鏡 (W.D.: 13mm, N.A.: 0.55)
375-053: 100X 物鏡 (W.D.: 6mm, N.A.: 0.7)
176-314-1: 滑動(dòng)型物鏡轉(zhuǎn)換器 (2-mount, perfocal)
176-314-2: 滑動(dòng)型物鏡轉(zhuǎn)換器 (2-mount, mag. adjusted)
12AAA643: ND2 型彩色濾光片 (輪廓／表面)
12AAA644: ND8 型彩色濾光片 (輪廓／表面)
12AAA645: GIF 型濾光片 (輪廓／表面)
12AAA646: LB80 型彩色濾光片 (輪廓／表面)
375-054: 0.5X 相機(jī)轉(zhuǎn)向鏡 (帶有C-mount 適配器)
970441: C-mount 適配器
513667: 鹵素?zé)襞?(24V, 50W)
12BAB345: 鹵素?zé)襞?(長(zhǎng)壽型、24V, 50W)
176-308: 防振臺(tái)架
176-309: 安裝臺(tái)架
375-056: 讀數(shù)尺
12AAA165: 鏡頭清洗工具
12AAA846: 腳踏開關(guān)
照明元件 (詳見 373 頁)
176-351-6: 斜面表面照明裝置
176-367-1: LED 環(huán)形照明裝置
176-343: 雙光纖照明裝置
176-366: 環(huán)形光纖照明裝置
12AAG806: GIF 型彩色濾光片 (用于光纖照明裝置)
12AAG807: LB80 型彩色濾光片 (用于光纖照明裝置)
固定和工作臺(tái)附件 (詳見 363 頁)
176-107: 帶有夾鉗的支架 *
172-378: 帶有夾鉗的 V 型塊 *(最大工件直徑：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋轉(zhuǎn)式中心支架 *
(最大工件直徑：80mm)
176-305: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
505B/1010B/2010B 型號(hào)
176-306: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
2017B/3017B/4020B 型號(hào)
*2010B 型號(hào)需要與固定適配器(176-310) 配合使用
2017B/3017B/4020B 型號(hào)需要與固定適配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 數(shù)據(jù)處理器
(詳見374 頁)
12AAA807：連接電纜套裝
Focus pilot FP-05
輔助聚焦系統(tǒng)
(詳見372 頁)
Vision Unit
基于PC 的視像測(cè)量系統(tǒng)
(詳見376 頁)
尺寸
單位：mm
設(shè)備型號(hào) MF-A MF-B
測(cè)量系統(tǒng) X 和 Y 軸 (2 軸型) X, Y 和 Z 軸 (3 軸型)
設(shè)備選型
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產(chǎn) 品 說 明
