370
Hyper MF / MF-U
176 系列 — 高精度測量顯微鏡
Hyper MF-U
(帶有可選光管鏡頭，
旋轉(zhuǎn)盤和物鏡)
特點
? 世界級高精度XY測量精度為(0.9+3L/1000)μm。
? 可選擇LAF (激光自動對焦) 功能。
? 良好的操作性能和重復精度。
? 三軸電動控制。
? 標配電動自動聚焦裝置。
技術參數(shù)：Hyper MF-U
觀察圖像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可調(diào)瞳距：51 -
76mm), 1X 光管鏡頭、雙目目鏡
(俯角：25o)、十字投影法、
帶有 TV 插板、光通比
(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 : 10X (視場直徑：24mm),
可選 : 15X, 20X
轉(zhuǎn)盤 (選件): 電動旋轉(zhuǎn)盤
物鏡 (選件): 從 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物鏡
(詳見 384 頁)
輪廓照明
? 光源 : 鹵素燈泡 (12V, 100W)
? 光學系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的遠心照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強度可調(diào) ,
100 級亮度調(diào)整
表面照明
? 光源 : 鹵素燈泡 (12V, 50W)
? 光學系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強度可調(diào)、100 級亮度調(diào)整
數(shù)據(jù)輸出 通過 RS-232C 接口
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
尺寸 : 880x913x770mm (主機)
160x476x381 (電源裝置)
重量 255kg (主機), 14kg (電源裝置)
技術參數(shù)：Hyper MF
觀察圖像 : 正像
光管 : 單目目鏡或雙目目鏡
(可選俯角：25o)、十字投影法、
帶有 TV 插板、光通比
(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 (選件): 10X, 15X, 20X
物鏡 : 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可選: 1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
輪廓照明
? 光源 : 鹵素燈泡(12V, 100W)
(光纖冷光照明)
? 光學系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的遠心照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強度可調(diào)、100 級亮度調(diào)整
表面照明
? 光源 : 鹵素燈泡(12V, 50W)
? 光學系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強度可調(diào)、100 級亮度調(diào)整
數(shù)據(jù)輸出 : 通過 RS-232C 接口
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
尺寸 : 880x913x730mm (主機)
160x476x381 (電源裝置)
重量 250kg (主機), 14kg (電源裝置)
詳見 Hyper MF/MF-U (E4267) 產(chǎn)品樣本
性能參數(shù)
型號 Hyper MF-B2515B Hyper MF-UB2515B Hyper MF-UD2515B Hyper MF-UE2515B Hyper MF-UF2515B
貨號 (mm) 176-420* 176-421* 176-422* 176-423* 176-424*
觀察類型 BF BF BF 或 BF/BD BF BF 或 BF/BD
數(shù)顯計數(shù)器 — — — — —
數(shù)碼自動對焦功能 — — — 有 有
XY 工作臺移動范圍 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm
測量裝置 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器
分辨率 0.01μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm
測量精度 (20oC 時) (0.9+3L/1000)μm, L 為 XY 軸無負載測量長度 (mm)
驅(qū)動系統(tǒng) (X, Y, Z 軸) 帶操縱桿的電動驅(qū)動控制
XY 工作臺臺面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm
載物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm
旋轉(zhuǎn)功能 ±3o ±3o ±3o ±3o ±3o
最大工件重量 30kg 30kg 30kg 30kg 30kg
最大工件高度 150mm 150mm 150mm 150mm 150mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：176-420A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，無后綴適于 JIS/100V371
尺寸
單位：mm
大型高精度XY 工作臺
多年以來，在制造精密測量顯微鏡方面，
三豐積累了豐富的經(jīng)驗，利用這些經(jīng)驗，
經(jīng)大規(guī)模、高穩(wěn)定性的設計，三豐推出此
型工作臺，最大負載為 30kgf ，備有各種固
定件，包括芯片固定器和旋轉(zhuǎn)中心支架。
LAF 鏡管
可選用 LAF (激光自動聚焦) 目鏡。LAF 系統(tǒng)
在微小步進 minute steps 測量時具有更高的
重復精度，使高難度測量更加輕松。
* 適用于 MF-U
AF 光路圖
LAF 采用的低功率激光
符合 JIS C6802/1997 激光
產(chǎn)品安全性的二級(可見
光) 安全標準。
三軸馬達驅(qū)動操縱桿
X, Y, Z 三軸均由一根操縱桿驅(qū)動、控制，作
為操作面的核心?？蛇M行速度控制：從工
作臺的高速驅(qū)動，到工件的超低速精確定
位。
250mm
150mm
150mm
高精度數(shù)字光柵尺
本系列顯微鏡的三軸均配備高精度數(shù)字玻
璃光柵尺。三豐公司生產(chǎn)玻璃刻度的實驗
室設于地下，終年恒溫、恒濕。 XY(工作臺)
以及 Z 軸 (鏡管) 的移動以數(shù)字形式顯示。
QM-Data200
2D 數(shù)據(jù)處理器
(見374 頁)
選件
Hyper MF 型號詳見 367 頁
Hyper MF-U 型號詳見 369 頁
Vision Unit
基于PC 的視像測量系統(tǒng)
(見376 頁)
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性能參數(shù)
貨號 375-056
測量范圍 1mm
分度值 0.01mm
精度 (20oC 時) (1+L)μm, L 為測量長度(mm)
尺寸 (WxD) 76 x 26mm
重量 16g
讀數(shù)尺
375-055:
同心圓
375-065:
品字光闌
測量顯微鏡附件
Focus Pilot FP-05
特點
? 在 MF 系列測量顯微鏡的 CCD 相機支架上
安裝此系統(tǒng)，并將聚焦圖投影到工件表
面上，即可精確快速的檢測到焦點。
? 有兩種聚焦圖可供選擇。選擇和工件表
面紋理一致的圖形。
? 聚焦圖的亮度可調(diào)。
性能參數(shù)
貨號 375-055* 375-065*
適用的顯微鏡 MF 型 MF-U 型
倍率 0.5X, 精度：0.1%**
相機接口 C-mount (標配)
適用 CCD 相機 2/3-inch 以下
重量 1.8kg 1.8kg
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：375-055A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
** 在視野區(qū)域中心 2/3 的面積之內(nèi)
聚焦圖
? 使用 CCD 相機 (帶有C-mount 適配器)，可
在監(jiān)視器上進行大視場觀察。
電動調(diào)焦裝置
性能參數(shù)
貨號 378-016* 378-210*
觀察類型 BF BF/DF
適用的顯微鏡 MF-UB 型
物鏡插板數(shù)量 5-mount 4-mount
視場調(diào)整范圍 ±0.5mm
電源 100 - 240V AC, 50/60Hz
尺寸 (W x D x H) 控制盒：108 x 72 x 193mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：378-016A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于JIS/100V
性能參數(shù)
貨號 378-061*
適用的顯微鏡 MF-A 型 , MF-UA 型
分辨率 0.4μm
驅(qū)動速度 3.2mm/s
電源 100 - 240V AC, 50/60Hz
尺寸 (WxDxH) 控制盒：108 x 87 x 201mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：378-061A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
動力旋轉(zhuǎn)盤373
雙光纖照明裝置 環(huán)形光纖照明裝置
性能參數(shù)
貨號 176-366*
適用的顯微鏡 MF 型
光纜長度 1000mm
光源 鹵素燈泡 (12V, 100W)
(517181：鹵素燈泡)
尺寸 (W x D x H) 照明裝置：235 x 76 x 120mm
可選用彩色濾光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807)
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：176-366A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
LED 環(huán)形照明裝置 斜面表面照明裝置
性能參數(shù)
貨號 176-367-2*
適用的顯微鏡 帶有 1X/3X/5X 物鏡的 MF 型
光源 白色 LED (12V, 100W)
LED 電纜長度 1500mm
可選用彩色濾光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645,
LB80: 12AAA646)
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：176-367-1A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
性能參數(shù)
貨號 176-351-6*
適用的顯微鏡 帶有 1X/3X/5X 物鏡的 MF 型
光源 由顯微鏡提供 (表面照明)
可選用彩色濾光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645,
LB80: 12AAA646)
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：176-351-6A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
D：雙光纖照明裝置
C: LED 環(huán)形照明裝置
B：環(huán)形光纖照明
A：垂直表面照明 (鹵素照明)
性能參數(shù)
貨號 176-343*
適用的顯微鏡 MF, MF-U 型
光纜長度 1800mm
光源 鹵素燈泡 (12V, 100W)
(517181：鹵素燈泡)
尺寸 (W x D x H) 照明裝置：235 x 76 x 120mm
可選用彩色濾光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807)
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴 (如：176-343A):
A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，
無后綴適于 JIS/100V
PCB
IC 模塊 深紅色
黑色樹脂注塑件
HDD 懸架 PCB
電子器件
柔性 PCB PCB
IC 電路
PCB HDD 懸架
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產(chǎn) 品 說 明
