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M-NanoCoord細(xì)微形狀測(cè)量系統(tǒng)
    發(fā)布時(shí)間: 2010-03-26 13:44    
產(chǎn)品編號(hào)：
6816532816
產(chǎn)品名稱：
細(xì)微形狀測(cè)量系統(tǒng)
規(guī)　　格：
M-NanoCoord
產(chǎn)品備注：
能精確測(cè)量微小表面的形狀(如MEMS 產(chǎn)品、 電氣設(shè)備、精密模、陽(yáng)模、球面透鏡等)。
M-NanoCoord細(xì)微形狀測(cè)量系統(tǒng)
  產(chǎn) 品 說(shuō) 明

M-NanoCoord
細(xì)微形狀測(cè)量系統(tǒng)

特點(diǎn)
? 能精確測(cè)量微小表面的形狀(如MEMS 產(chǎn)
品、 電氣設(shè)備、精密模、陽(yáng)模、球面透鏡
等)。
? M-NanoCoord 系列的每一型號(hào)均包含一臺(tái)
最新開(kāi)發(fā)的超高精度主機(jī)。
? M-NanoCoord 系列的每一型號(hào)均包含一個(gè)
作為標(biāo)準(zhǔn)配件的視像測(cè)頭。
? 除了標(biāo)準(zhǔn)的視像測(cè)頭之外，還可安裝第
二測(cè)頭。
兩種測(cè)頭可供選擇
極低測(cè)力掃描測(cè)頭，特別適用于非損傷地
測(cè)量軟質(zhì)工件；
極小測(cè)頭的接觸式測(cè)針UMAP103，特別適
用于測(cè)量微孔。

技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
X 軸: 200mm
Y 軸: 200mm
Z 軸: 100mm
精度: (0.2+L/1000)μm
L 為測(cè)量長(zhǎng)度(mm)
結(jié)構(gòu)
X 和 Y 軸: XY 表面導(dǎo)向
Z 軸: 滑動(dòng)架和固定心軸
導(dǎo)向方式: 液壓軸承
驅(qū)動(dòng)方式: 摩擦驅(qū)動(dòng)
長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)桿: 激光全息測(cè)微計(jì)
照明系統(tǒng): 表面照明
程控環(huán)形照明

?產(chǎn)品類(lèi)別